***物***气体用于微电子、化工、机械制造、环境监测、医疗等领域，属于产业市场范畴。产品品种和质量要求相当高，是发展微电子工业技术必不可少的关键基础材料之一，***物***气体作为其中重要的组成部分，在半导体集成电路、光导纤维及太阳能电池等制造过程中起着举足轻重的作用。 我公司从上世纪80年代初开始，利用所取得的技术成果和掌握经验，为处于起步阶段的我国微电子工业超大规模集成电路研发和生产开发一些关键基础材料。七五开始正式承接国家重点科技攻关 “超大规模集成电路制造工艺关键材料******物气体研制”项目。在八五至十